Mirau干涉相关论文
该文研究用于微表面三维形貌测量的Mirau白光相移干涉系统.闭环控制的压电陶瓷传感器(PZT)带动干涉物镜在光轴方向步进式移动,以得......
基于Mirau相移干涉法，在实验室环境下对微透镜阵列的微表面形貌进行了轮廓测量．实验使用He-Ne激光器作为光源，干涉成像系统由Mirau干......
为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量，在普通光学显微镜的基础上改造完成了一台微纳台阶高度测量装置，设计......
基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒......
论文全面描述了微表面形貌测量的各种方法,总结了干涉中的相位测量方法,分析了当前表面形貌测量的研究热点和方向。从白光相移显微......
