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为了有效的进行集成电路成品率预报和故障分析，与光刻有关的硅片表面缺陷通常被假定为圆形、椭圆或方形．然而，真实缺陷的形貌是多种多......
硅片表面缺陷轮廓的形状特征对集成电路（IC）成品率预报及故障分析有重要影响。讨论了IC缺陷轮廓所具有的分形特征，利用小波变换对其参......
IC真实缺陷轮廓曲线的形状特征对集成电路成品率预报及故障分析有重要影响。该文提出缺陷轮廓曲线具有多分形特征,以某一真实缺陷......
