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FeRAM流片相关论文
PZT系列铁电薄膜掺杂改性及FeRAM关键工艺研究
该论文研究了基于Sol-Gel方法的改进的锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜制备方法.对为了克服PZT中Pb容易挥发,不易控制其含量,并提高PZT薄膜......
学位
Sol-Gel
铁电薄
改性实验
关键工艺
FeRAM流片
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