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FeCo合金薄膜由于其高的饱和磁化强度,低的矫顽力,高的磁导率,良好的热稳定性等磁性能成为了软磁薄膜研究的重点对象之一。正是由......
利用改进后的对靶磁控溅射系统,以N2/Ar混合气体为溅射气体,在未加热的Si(111)衬底上沉积FeCoN薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显......