FEB-E偏滤器相关论文
在 FEB- E设计阶段 ,偏滤器从开放式固定板靶优化为封闭式气体靶 ,以改善偏滤器的杂质控制和增加离子与气体的相互作用。通过喷气......
为了提高FEB-E偏滤器的杂质控制和增加FEB-E偏滤器处离子与中性气体的相互作用,用喷气和杂质注入的方法设计了动态气体靶偏滤器.高......
为了提高ＦＥＢ－Ｅ偏滤器的杂质控制和增加ＦＥＢ－Ｅ偏滤器处离子与中性气体的相互作用，用喷 气和杂质注入的方法设计了动态气全靶偏滤器。高约束Ｈ模拟......
