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EWMA控制算法相关论文
混合产品制程中基于变权值EWMA的批间控制方法研究
批间(Run-to-Run,R2R)控制已广泛应用于半导体生产行业。指数加权移动平均(Exponent Weighted Moving Average,EWMA)反馈控制是R2R控......
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半导体行业
批间控制
EWMA控制算法
折扣因子
混合产品制程
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