ECR微波等离子体相关论文
利用电子回旋共振(ECR)微波等离子体辅助化学气相沉积技术、工作气氛为丙酮,在光学玻璃衬底上得到了光滑、致密、均匀的类金刚石薄......
建立了ECR微波等离子体源离子输运的平板和圆柱模型,对离子历经的空间区域的输运过程进行了数值研究.采用MonteCarlo(M-C)方法模拟......
利用电子回旋共振(ECR)微波等离子体,在CH4/H2体系下,对高温高压单晶金刚石表面进行了碳纳米墙修饰。通过等离子体发射光谱研究ECR......