CF4分解相关论文
本研究在实验室规模上采用高温分解方法,针对电子工艺中使用较多的全氟烃气体中最难分解的CF1气体进行了实验研究.通过改变反应温......
CF4、NF3等全氟化合物（Perfluoro compounds）被广泛用作半导体工业的蚀刻气和清洗气,具有极高的温室效应潜值（GWP）,如CF4的GWP为CO2的6......
程序升温联合恒温反应方式研究了CF4在P／Al2O3上分解反应，用XRD、BET表面积测试技术对反应前后的P／Al2O3上进行了表征。结果表明：在Al2......
考察了在无水条件下γ-Al2O3基金属氧化物M-Al2O3（M=Mg、La、Ba、Ce、Ni、P）与CF4反应转化为金属氟化物的反应.结果表明,在所筛选的......
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