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利用能量120 keV的Al离子注入250和500℃的Fe靶,研究了高温注入条件下Fe靶表层合金化过程.Fe靶表层Al的浓度-深度分布和相结构分别......
在4H-SiC中进行Al离子注入,并进行了二次高温退火技术研究。样品中Al离子的注入浓度为3×10^19cm-3,对样品进行首次高温退火工......
