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高频粗糙度相关论文
利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法
在极紫外多层膜反射镜中,基底高频粗糙度是影响多层膜反射率的重要因素.通过在粗糙基底上镀制平滑层薄膜,可以有效降低基底粗糙度.......
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高频粗糙度
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功率谱密度
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high frequency roughness
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