非蒸散型吸气剂泵相关论文
影响静态膨胀法真空标准校准下限的主要因素是器壁放气,本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(脚)消除器壁放气影响来延伸校准下限的方法。......
真空容器容积比的测量方法通常有称重法和静态膨胀法.目前,复杂结构真空容器容积比主要是在较高的压力下通过气体静态膨胀进行测量......
本文简要阐述了非蒸散型吸气剂(NEG)泵的吸气机理,着重介绍了NEG泵在超高/极高真空标准、静态膨胀法真空标准等真空计量标准中的最......