非晶氢化硅碳薄膜相关论文
该文研究了应用新型的超高真空等离子增强化学气相沉积(UHV-PECVD)复合系统沉积a-SiC:H薄膜及其特性。系统的真空度可达标10Torr以......
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介绍在中国原子能科学研究院HI 13串列加速器上,对α Si1-xCx∶H薄膜样品进行弹性反冲探测分析的方法和结果.用该加速器提供的高品......
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