静电梳齿驱动器相关论文
采用降阶建模为静电梳齿驱动执行器开发了一个二维有限元模型,将梳齿驱动器简化为一组等价的集总参数单元,各单元均体现了对应器件......
设计了基于硅塑性变形的垂直梳齿驱动器,中央可动微镜由四组蛇形曲折梁支撑。驱动器的制作采用硅—硅键合技术,首先利用DRIE干法刻......
分析了MEMS静电梳齿驱动工作原理，以梳齿结构和弹性梁结构为基础，综合考虑了动态特性、可靠性以及加工工艺可行性要求。提出了非等高......
