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本文分析了当前集成微光机电系统在通信用光器件方面的研究与应用情况，展望了集成微光机电系统在未来光通信系统集成方面的前景。......
微机械力学性能测试仪是国家“973计划”项目《集成微光机电系统》子课题“微机械材料力学特性相关问题研究”的重要组成部分．微机......
1首席科学家王跃林中国科学院上海冶金研究所研究员,博士生导师.1989年获清华大学博士学位.1985年-1998年在浙江大学信电系工作,19......
集成微光机电（ＭＯＥＭ）系统是近年来迅速地发展起来的一门新兴的综合学科，它融合了微光学元件、微电子器件和微机械结构的优点。不但在技术上......
