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微机械力学性能测试仪是国家“973计划”项目《集成微光机电系统》子课题“微机械材料力学特性相关问题研究”的重要组成部分．微机械力学性能测试仪是一台适用于多种材料的大量程、高分辨率微机械力学性能测试装置．该装置分为瞄准及形貌观测、精密定位和加栽三部分．瞄准和形貌观测部分用于确定试样的加栽位置并能够在加载完成后观测试件加载位置的压痕形貌；精密定位完成加载机构的进给和微构件在瞄准过程中的定位；加栽部分完成加裁并获得载荷一位移曲线．通过分析该曲线，