铜钨薄膜相关论文
为了进一步探讨离子柬溅射铜钨薄膜的结构，在铁片上离子束溅射铜钨薄膜，研究了轰击离子束能量及低能辅助轰击方式对薄膜相结构和厚度......
研究双离子束溅射组装铜钨复合膜Ar^＋能量及束流对膜影响。用XRD分析溅射沉积后的薄膜结构。实验结果表明,随靶Ar^＋能量和束流增加,......
采用双靶磁控溅射共沉积方法制备Cu-W薄膜,其微观结构及形貌通过XRD、TEM和SEM方法测试,结果表明,Cu-W薄膜是由Cu固溶于W或W固溶于......
