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铁激活率相关论文
不同化学配比对InP晶体缺陷及Fe激活率的影响
磷化铟作为一种重要的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料,具有诸多优异特性,作为衬底材料广泛应用于光电子与微电子领域。熔体组分配比度能......
学位
磷化铟
化学配比
铟夹杂
位错
铁激活率
富磷条件对磷化铟晶体缺陷及Fe激活率的影响
本文主要研究在富磷熔体中原位磷注入合成和液封直拉法生长的InP体材料的相关特性,并得到了以下结果:1、在深入了解InP晶体微缺陷的......
学位
磷化铟
富磷
铁激活率
缺陷
均匀性
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