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钼刻蚀相关论文

金属深刻蚀工艺与钛基微小零件制造技术

随着微机械加工技术的飞速发展，金属钛以其密度低、比强度大、抗冲击性强、耐腐蚀、无磁性及生物兼容性好的优势，走入了人们的视野。......

学位

钛微细加工 SU-8掩膜制备 ICP深刻蚀工艺微小零件钼刻蚀化学机械抛光

大尺寸TFT-LCD ECCP刻蚀工艺低耗整合

为简化大尺寸液晶面板四次光刻法的刻蚀工艺、减少有毒气体使用、降低射频功率消耗，在2 200 mm×2 500 mm大尺寸玻璃上，采用正交......

期刊

低耗钼刻蚀阴极耦合离子试验设计

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