金属有机源化学气相沉积相关论文
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采用MOCVD方法在石英衬底上生长ZnO。实验使用二乙基锌（DEZn）为锌源，N2O作为氧和氮源，H2作为载气。采用PL和Raman光谱方法对ZnO样品进......
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