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金属化多晶硅相关论文
硅基微测辐射热计电路一体化集成设计
非制冷红外探测器具有体积小、重量轻、成本低、可以室温下工作等优点,在红外侦查、工业检测、消防安防、电力行业等领域有着广泛......
学位
非制冷红外探测器
金属化多晶硅
微测辐射热计
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基于标准集成电路工艺的微测辐射热计研究
微测辐射热计是红外热成像技术的重要组成部分,在火灾探测、安全系统和医疗诊断等方面发挥着重要作用。基于标准集成电路工艺制备......
学位
非制冷红外探测器
微测辐射热计
标准集成电路工艺
金属化多晶硅
铝光栅耦合
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