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近红外线检测技术相关论文

通过晶圆片检测MEMS器件

为确保MEMS器件的运作,对其进行缺陷检测是至关重要的,但许多机械性能无法通过电气或功能测试来确定.而一种有前途的能穿透硅和大......

期刊

MEMS器件缺陷检测近红外线检测技术无损检测内部结构检查

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