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软刻蚀技术(SL)相关论文
聚焦离子束刻蚀制造三维软刻蚀母模板的研究
研究了一种基于聚焦离子束(FIB)刻蚀法制备软刻蚀用母模板的新方法。该方法采用FIB刻蚀技术在Si基底上制备出15μm×15μm的轮廓......
期刊
聚焦离子束(FIB)
软刻蚀技术(SL)
三维加工
聚二甲基硅氧烷(PDMS)
模板
Focused ion beam(FIB)
Soft lithograph
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