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多晶硅薄膜和多晶硅发射极光电晶体管
该文研究了用UTT-40型超高真空镀膜机蒸发形成的多晶硅薄膜的高子注入掺杂和退火特性,并用多晶硅发射极制作了新型的高灵敏度光电晶......
会议
多晶硅薄膜
多晶硅发射极
超高真空镀膜机
注入掺杂
退火特性
光电增益
光电晶体
高灵敏度
光功率
制作
蒸发
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