表面演变相关论文
193nm深紫外光刻机和下一代的13.5nm极紫外光刻机是我国半导体行业和超大规模集成电路战略的核心装备，光刻投影物镜是其中尤为关键......
AlN半导体薄膜的亚稳立方结构相比其稳定的六方相具有独特的性质，如高度的晶体对称性有望降低光子散射和掺杂难度、(001)生长方向不......
激光抛光是一种新型抛光技术,具有高效率、非接触、自动化加工等优势,已经广泛地应用于各种材料上。目前激光抛光的研究工作主要集......
193nm深紫外光刻机和下一代的13.5nm极紫外光刻机是我国半导体行业和超大规模集成电路战略的核心装备,光刻投影物镜是其中尤为关键......
针对氧化锆陶瓷平面零件的超光滑表面加工问题,将两种超精密研磨工艺应用到氧化锆零件加工中。研究了研磨液和磨料粒径对零件表面......
AlN半导体薄膜的亚稳立方结构相比其稳定的六方相具有独特的性质,如高度的晶体对称性有望降低光子散射和掺杂难度、(001)生长方向......
