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微机电系统的研究始于上个世纪的八十年代,目前已经成为一股潮流。而微泵控制技术是微电子机械系统发展需要解决的关键问题之一。......
石英晶体微天平(QCM)是一种新型的高灵敏度质量传感器,具有结构简单、制作方便、成本低和测量精度高达纳克级等优点,在生物、化学......
随着科学技术的飞速发展，计算机不断更新换代，存储容量在不断的增长，作为其基础元件的集成电路已由超大规模（VLSI）向甚大规模(ULSI)阶段......
<正>Primo SSC AD-RIETM将在客户最先进的试生产线上投入运行上海和旧金山2015年7月9日电/--中微半导体设备有限公司(简称"中微")......
大连目前的IT产业,主要是基于软件外包及信息服务产业.英特尔芯片工厂的入驻,首先带动的是芯片加工上下游企业来到大连,紧随其后的......
集成电路是现代信息社会经济发展的基础和核心,文章从IC产业的发展过程和现状出发,指出MEMS的微连接和系统组装已成为影响MEMS发展......
跨越与跟踪IC加工业是资金高度密集的产业,一条0.18微米的生产线,一般要投资15亿美元以上,国外对先进IC加工设备出口中国仍有许多......
分析了芯片加工中器件损伤的物理机制并给出了减小损伤的方法。...
中微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“中微”）于本周SEMICON West期间发布面向22nm及以下芯片生产的第二代300mm甚高频去耦合反应......
中微半导体设备有限公司（以下简称＂中微＂）于SEMICON China展会期间宣布,中微第二代等离子体刻蚀设备Primo AD-RIETM正式装配国内技术最......
洗手器是清除芯片加工工作人员双手灰尘和细菌的设备之一，是保证工作人员生产出合格芯片的必要前提。我厂原来的洗手器采用继电器一......
发展了一种以＂二次刻蚀＂技术制备玻璃微-纳流控芯片的新方法.首先,采用紫外光刻和化学湿法刻蚀技术在玻璃基片上加工微米深度的微通......
随着工程技术和自然科学的发展，机械产品已经开始向微型化发展，而流体控制微型化是其中一个重要的方向。微流控装置通常是一种以微通......
