聚焦误差信号相关论文
随着微机电系统（MEMS）技术的迅猛发展,各种微纳米级的微小元器件相继问世,微纳米三坐标测量机对微尺寸器件的高精度测量愈发重要。其......
为研究探测光斑尺寸对热透镜聚焦误差信号的影响,建立了基于光学相移理论的热透镜聚焦误差信号理论模型,给出了构型参数优化条件及......
为了设计一种形貌与边缘复合测量系统,能够兼具形貌、边缘、阶高等多种测量功能,本文主要完成了如下几项工作:1、设计并搭建了基于......
激光直写机是制作衍射光学元件的关键设备,离焦检测技术是其中的重要单元技术之一。离焦检测系统为聚焦伺服系统提供聚焦误差信号,......
针对目前工程领域中亟待解决的三维曲面轮廓的精密测量问题,研制了具有纳米级轴向分辨力的光瞳滤波式激光偏振光差动像散传感器(PL......
应用线切割方法设计了光针轮廓仪伺服机构-音圈电机的结构,使其具有更好的静动态特性和焦点自动跟踪能力.通过改善传统的聚焦误差......
采用DVD光碟机的激光读取头，开发出微器件表面3D形貌的新型微／纳米测量系统。分析了激光读取头内部结构与运作原理，当反射面不在聚焦......
随着工业精密测量对于精度和分辨率的要求越来越高,光学探头在工业精密测量中得到了广泛的应用。由于DVD读取头的聚焦误差信号FES（F......
介绍了基于DVD光读取头的低频振动测量原理和方法。利用光读取头中的音圈马达,驱动物镜跟踪被测面的振动,使振动面保持在物镜焦点......
