缝式喷嘴相关论文
提出了一种用于化学气相沉积法制备6.5%硅钢(wSi=6.5%)的缝式喷嘴结构。利用数值仿真方法模拟了不同结构参数下喷嘴出口处SiCl4气体......
理论分析了流场中的涡流是缝式喷嘴型冷却装置产生噪声的主要原因。利用仿真软件对冷却装置边壁结构进行优化,可减小涡流区的大小和......
目的研究基于缝式喷嘴的SiCl4和N2混合气体的喷射工艺参数对CVD法制备6.5%Si钢渗硅速率的影响。方法采用不同的反应温度、SiCl4气......