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静电驱动MEMS变截面梁系统级建模方法研究
MEMS器件的几何形状非常丰富与复杂,不同的几何形状为器件应用提供了有利的支持。本论文所重点研究的变截面双端固支梁,利用中间的大......
学位
MEMS器件
变截面梁
等效电路宏模型
有限元分析
统级模拟
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