线形同轴耦合微波等离子体相关论文
大面积、稳定和可控性强的等离子体源一直是研究热点,在太阳能电池及半导体薄膜材料领域都有着广泛的应用前景,由此我们通过引进与......
微波等离子体增强化学气相沉积(MW-PECVD)法产生的等离子体密度高,成膜质量好,是制备高效太阳能电池背面钝化膜的重要方法。基于自......
开发了一种新型线形同轴耦合大面积微波等离子体源,针对该新型等离子体源放电空间等离子密度及分布的不明确性,利用朗缪尔单探针法......
