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衬底温度对氧化铟锡薄膜性能的影响
本文利用射频磁控溅射方法,采用氧化铟锡陶瓷靶材制备了氧化铟锡透明导电薄膜.研究了衬底温度对其表面形貌和光电特性的影响.在衬......
会议
衬底温度
氧化铟锡透明导电薄膜
薄膜性能
射频磁控溅射方法
异质结太阳电池
可见光波段
薄膜电阻率
陶瓷靶材
减反射膜
光电特性
表面形貌
透过率
纯氩气
电极
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