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粒度均一性相关论文

影响CMP用纳米Al2O3磨粒粒度均一性的因素及其机理

系统地研究了制备CMP用纳米γ-Al2O3磨粒时影响粒度及其均一性的各种因素,并对其机理进行了探讨.确定了控制粒度及粒度均一性的最......

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CMP 粒度均一性化学机械抛光技术氧化铝磨粒 CMP γAl2O3 abrasive granularity uniformity

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