粉粒表面刻蚀相关论文
介绍了一种用直流氩等离子体对硅粉刻蚀提纯的方法。实验结果表明硅粉纯度可由99．6％提高到99．95％。处理后的硅粉还可进行熔化-固化-粉......
在直立平板电极鞘层内进行了硅粉表面刻蚀,使硅粉的纯度由99%提高到99.97%.提出了鞘区中离子和高能氩原子的平均能量和通量方程,建......
给出了本研究中所采用工业硅的要求和太阳电池功率高达14％的P型硅材料中单一杂质的阀值。针对太阳能级硅的纯化要求和工业硅的特性，......
介绍了一种用直流辉光放电产生的冷等离子体对硅粉刻蚀纯化的方法。实验是在氩气氛中进行，结果表明硅粉纯度可由97．66％提高到98．47％。处......
