等离子体增强原子层沉积相关论文
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互联网和物联网的迅猛发展,以及衍生出来的人工智能、大数据、云计算等正在深刻而迅猛地改变着人类社会生活的方方面面。与此相关,......
近年来,铁基及其化合物以其独特的物理与化学性质引起了人们的广泛关注。例如,在能源转换过程中表现出良好的性能,如氧还原反应、......
学位
主要介绍了原子层沉积技术的历史背景、原理(包括两种自限制的反应机制、前驱体的要求与分类)以及原子层沉积本身作为一种涂层制备......
原子级的处理对应用于计算和数据存储的最先进的电子设备,以及与物联网、人工智能和量子计算相关的新兴技术正变得越来越重要。等......
利用等离子体增强原子层沉积系统,使用氮等离子体对Te掺杂GaSb的表面进行刻蚀,改善样品的发光特性.在室温下（300K）,发光强度提高了4......
黑硅的纳米结构可以大大降低硅表面的入射光反射率,同时由于比表面积的增加使其钝化成为难题,从而影响其太阳电池的性能。等离子体......
期刊
随着工业化的快速发展,人类社会正面临着日益严峻的环境污染问题,如何利用取之不尽、用之不竭的太阳光,发展环境友好的光催化剂成......
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