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积分棒相关论文

平顶高斯光束的传输特性及其整形方法的研究

随着激光技术的应用越来越广泛,各应用领域对激光光束的要求也越来越多种多样,如激光冲击强化、惯性约束聚变等应用中,需要横截面......

学位

平顶高斯光束传输特性扩束系统积分棒整形方法

积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用

从几何光学角度讨论了积分棒的匀光原理，介绍了积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用,分析了积分棒入射光束的数值孔径对刀口狭缝......

期刊

光刻照明均匀性非序列光学元件积分棒

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