硅粉纯化相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

硅粉纯化相关论文

冷等离子体中的粉体研究

介绍了在冷等离子体中粉体研究的几个重要成果，分析了粉体在两种反应室结构中的运动、沉降时间及刻蚀状况。理论分析和实验结果表明......

期刊

冷等离子体粉体表面刻蚀硅粉纯化 cold plasma particulates surface etching Si powder purity

粉尘等离子体的研究

在实验和理论上研究了粉粒在等离子体鞘区的沉降、带电、收集和刻蚀。基于粉尘对等离子区电子能量分布函数的影响，讨论了粉尘对等离......

期刊

硅粉纯化等离子体稳定性刻蚀速率太阳级硅 Si-powder purity Plasma stability Etching rate SOG- Si

看过本文同时还关注