硅弹性膜相关论文
本文介绍一种新型压力传感器,它有别于压阻型和电容型压力传感器,利用固定玻璃板和对压力敏感的硅弹性膜之间的Fabry-Perot腔所产......
报道了用激光束成像法对双E型传感器的硅弹性膜在不同压力情况下的应变进行的研究,并测出该弹性膜的应变情况。此方法对其他形式的......
