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非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜的制备研究
氧化钒薄膜由于具有高电阻温度系数(TCR),近年来被广泛应用于非制冷红外探测及红外成像领域。本论文是利用多种物理气相沉积方法制备......
学位
氧化钒薄膜
电阻温度系数
红外探测
真空蒸发
射频溅射
直流对靶
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