直拉硅单晶生长相关论文
信息产业与新型绿色能源产业是目前人类的两大支柱产业,硅单晶作为两大支柱产业的基础材料尤为重要。随着集成电路和光伏产业的快......
在直拉硅单晶生长过程中,晶体质量与固液界面V/G密切相关,实现V/G的在线监测,对于生长低缺陷、无位错的大尺寸硅单晶至关重要.然而......
该文采用有限单元法计算了MCG600型单晶炉所配备CUSP磁场的分布情况,并与测量值做了对比,两者基本一致,说明数值计算方法的结果是......
大尺寸、电子级直拉硅单晶生长过程中物理变化复杂、多场多相耦合、模型不确定且存在大滞后和非线性等特性,因此如何实现硅单晶直......
