电容耦合等离子体相关论文
设计了一种测量电容耦合等离子体电子密度时间演化的YAG激光汤姆孙散射系统.电容耦合等离子体是在真空条件下由300 W射频电源供电......
使用两种频率组合（60 MHz/2 MHz,41 MHz/13.56 MHz）激发产生容性耦合等离子体,通过改变源气体流量比、射频源功率、自偏压等条件进行......
电容耦合等离子体广泛应用于对材料表面进行刻蚀和沉积,特别是在大规模集成电路制造中。材料表面的离子能量分布是影响工艺结果的......
本文包括两个部分的内容。第一部分主要讨论电磁波在大气等离子体中的传播。结合隐式差分格式和辛普森积分算法数值求解电磁波在一......
