甲烷等离子体相关论文
完整建立一个关于射频辉光放电CH4等离子体的流体动力学模型.模型包括基于迁移-扩散近似的粒子平衡方程、电子能量平衡方程,共包含......
通过求解Lorentz简化的玻尔兹曼方程,得到射频放电CH4等离子体中电子的能量分布函数.求解过程中使用一个简化的射频电场模型代替泊......
在CH4／He体系下，利用光学发射谱技术，对螺旋波放电产生低压甲烷等离子体内活性粒子的光学发射特征进行了原位测量。根据甲烷离解后产......
在微波化学气相沉积装置上采用微波激发氢气甲烷体系等离子体，通过光学多道分析仪采集等离子的发射光谱。实验表明。甲烷在等离子体......
