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玻璃过渡温度相关论文
CMP中抛光垫的性质研究
以IC1000/SubaIV抛光垫为例,综述了影响抛光垫性能的各种因素,以文献相关数据为依据,着重分析了抛光温度和修整力对抛光垫性能的影响。......
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chemical-mechanical polishing (CMP) polishing
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