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热氧化腐蚀相关论文
GaN基材料的热氧化腐蚀技术机制及其工艺研究和GaN基MOSHEMT器件A1203栅介质工艺优化
由于AlGaN/GaN HEMT(高电子迁移率晶体管)具有优异的功率特性和频率特性,因此成为国内外的研究热点。而刻蚀技术是AlGaN/GaN结构电子......
学位
氮化镓基材料
热氧化腐蚀
高电子迁移率晶体管
肖特基接触栅结构
击穿电压
原子力显微镜
铀铌合金热氧化过程的AES研究
在超高真空下,室温下,通入高纯O2,清洁铀铌合金表面就会吸附O2,并解离与表面铀原子结合生成UO2,与表面铌原子结合生成NbO,继续氧化成为Nb......
期刊
铀铌合金
热氧化腐蚀
AES
温度控制
氧气
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