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离子源的溅射特性及其对ZnS薄膜折射率的影响

在离子束辅助镀膜工艺中,离子源工作参数无疑是影响薄膜质量的关键因素.本文对宽束冷阴极离子源溅射特性进行了研究,给出了离子源......

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宽束冷阴极离子源 ZNS薄膜溅射速率硫化锌薄膜离子源溅射特性折射率 broad beam cold cathode ion source ZnS fi

溅射镀膜技术与运用浅谈

摘要：本文介绍了溅射镀膜的概念、使用溅射镀膜的优点与特性、半导体行业上运用。从溅射镀膜知识切入点谈论了溅射的离子、溅射阈......

期刊

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