沉积室相关论文
本文主要介绍了一种用于微波电子回旋共振CVD系统的新型磁场结构,提出了磁场线圈与沉积室永磁体单元组合的结构,并对这一结构及其......
本实用新型公开了一种用于气相沉积的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置。它包括沉积室、支架以及设置在内支架内的蝶阀、罗茨泵、机械......
一种表面处理系统，在其中，将用于一沉积反应的气体注入一沉积室中并且施加电能，以便形成在一个或多个表面处理物体上形成沉积层的沉积......
介绍国家“七五”攻关项目－非晶硅太阳电池沉积室及加热体设计时，在考虑满足工艺要求的使用温度为２５０℃的情况下，没有搬用国内外类似结构......
