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沉积偏压相关论文

沉积偏压对电弧离子镀CrAlSiON涂层组织结构和性能的影响

纳米复合涂层因具有超高硬度和优异的高温稳定性备受关注,但由于在制备过程中不可避免的会含有氧杂质,导致涂层性能不稳定,限制了......

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CrAlSiON 电弧离子镀含氧量沉积偏压

沉积偏压对CN<,x>薄膜结构性能及介电常数的影响

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CN_x薄膜低介电常数 sp~3C-N 硬度傅立叶红外光谱 X光电子能谱

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