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为拓展锰铜传感器的高压测试上限,本文采用薄膜技术研制了一种新型的锰铜传感器.该传感器采用氧化铝封装,后置式结构,两步薄膜工艺......
采用薄膜工艺,实现了锰铜压阻元件在氧化铝绝缘体中的无胶封装.锰铜计以“后置式”方式工作.初步试验表明,这种结构的锰铜计可突破......
锰铜计是一种特种传感器,主要用于测量冲击波产生的超高压力.其量程上限可达50GPa,是现有传感器中最高的.为满足国防工程的特殊需......
