正性光致抗蚀剂相关论文
正性光致抗蚀剂,能在短时间的光照下分解为可溶性物质,被广泛应用于光刻工艺,是一类新型的电子信息化学品,现介绍正性光致抗蚀剂性......
提出了一种可对大矢高、非球面微透镜阵列面形进行精确控制的新方法。针对不同面形的微透镜阵列 ,该方法首先对光致抗蚀剂表面的曝......
