椭偏仪法相关论文
针对当前应用较为广泛的各种薄膜厚度测控技术,简明介绍了光电极值法、干涉法、石英晶体振荡法及椭偏仪法的物理原理及其应用.......
<正> 磁泡膜通常是指在钆镓石榴石(GGG)基片上外延的一层铁石榴石薄膜,它的厚度为几个微米,由于厚度对磁特性有影响,膜的厚度成为......
就目前CMP建模当中没有考虑到芯片表面的薄膜氧化所需时间对模型建立所产生的影响，以至最后模型的预测结果与试验结果相差甚多的问......
对彼比科夫（BHδHKOB）提出的测量相薄片的相移和透射光相对振辐系数的椭偏仪法作了改进，论述了该改进方法依据的理论，采用的步骤；并用此......
