梁膜结构相关论文
基于微机械电子系统(MEMS)技术和硅材料的压阻效应,研制了一种具有对称梁膜结构的硅微加速度传感器.结合四甲基氢氧化铵(TMAH)各向......
本文将硅微压传感器的典型结构--双岛梁膜结构应用于应变式压力传感器的设计中,设计了一种适用于较低量程压力传感器的弹性元件,并......
在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中 ,考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性 ,使得该工艺用于微压传感器的制造。微压传感......
在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中，考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性，使得该工艺用于微压传器器的制造。微压传感器采......
<正> 硅压力传感器发展的一个重要趋势,是向高灵敏度的微压传感器发展。1993年我们率先采用微机械的梁膜结构制得PT-24量程lkpa微......
对单层球形网壳梁膜结构进行分析,根据网壳的失效形式确定网壳结构的强度和局部稳定性设计准则,利用有限元分析软件对风场和结构场......
采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感产品的量程已达５－１０ｋＰａ。本文介绍了采用微机械梁膜......
流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统（MEMS）技术的发展与应用,向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基......
光纤珐珀传感器具有体积小、耐高温、耐腐蚀等优点可以应用于石油井下、航空航天等复杂的环境中。本文在157 nm激光器制作光纤珐珀......
在A03号耐高温压力传感器结构设计上采用梁膜结合压力传递结构,使被测高温流体不能直接作用在SOI芯片固态压阻力敏感元件上,从而避......
