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RCA清洗法与NCW清洗法对砷化镓晶片表面杂质去除效果对比实验
选取目前最常用的RCA清洗法和NCW清洗法分别对同批次加工的砷化镓抛光片进行清洗,使用X射线光电子谱对晶片表面杂质成分进行测试,对......
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